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Beam Imaging 法拉第杯 真空組件

簡要描述：Beam Imaging 法拉第杯 真空組件
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  • 產品型號：FC-1
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2024-12-13
  • 訪  問  量：189
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Beam Imaging 法拉第杯 真空組件

Beam Imaging Solutions （BIS） 推出新型磁屏蔽 FC-1 法拉第杯。這款緊湊且易于使用的系統可連接到標準的 2.75 英寸（69.8 毫米）同平端口。FC-1 旨在通過使用磁場過濾掉可能進入杯子的電子來準確測量來自離子源的初級正離子束電流。可以通過移除濾光片磁鐵來測量電子束。對于離子束，法拉第杯收集器略微正偏，以抑制二次電子發射，并抑制由與初級離子束和背景氣體原子的電荷交換碰撞產生的低能離子。電子束電流是用連接到 50 歐姆 BNC 真空饋通的靜電計測量的。法拉第杯底部的屏蔽裙邊可防止靜電計測量未通過法拉第杯孔進入的電子或離子電流，并防止陶瓷濺射，從而將集電極與地面隔離。法拉第杯也可單獨提供，帶有兼容 UHV 的同軸電纜，適用于需要遠程光束電流測量的應用。

電子過濾和二次電子抑制

許多離子束系統將電子源與離子源結合使用，以中和靶材處積聚的離子電荷，并最大限度地減少由于離子的空間電荷而導致的離子束擴散。真空室中還存在來自電離計的電子，以及來自離子束表面散射和真空系統中組件的二次電子發射的電子。為了過濾來自法拉第杯內離子收集器的這些電子，在杯子入口處使用了一對永磁體。這些磁鐵在杯子入口處形成一個磁場，捕獲并阻止電子進入杯子。通過對集電極施加一個小的正偏壓，在集電極處通過與初級離子束碰撞而產生的二次電子被吸回集電極。

Beam Imaging 法拉第杯 真空組件

 

低能耗離子過濾

Beam Imaging 法拉第杯 真空組件

當初級離子與背景氣體原子碰撞時，會產生低能量離子。在這種非彈性碰撞過程中，離子的電荷和大部分動能轉移到氣原子（電荷交換），使合成離子的動能比原始初級離子小得多。通過將集電極偏置到遠小于排斥進入的初級離子束所需的電位的正電位，可以在集電極處拒絕低能量電荷交換離子，并將其排斥到法拉第杯室的接地壁上。低能量離子對總初級離子束流的貢獻通常非常小，但會隨背景氣體壓力和法拉第杯到離子源的距離而變化，并且可能會給真正的初級離子束電流帶來重大誤差。

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